摘要: 光伏电池制程设备的机械结构精度直接影响工艺稳定性与制程良率，但当前研究对结构偏差与工艺波动之间的关联机制关注不足。本文从典型制程设备的机械结构特征入手，分析传动系统、腔体框架及热场环境下结构变形对工艺稳定性的作用机制，提出传动系统刚度与定位精度的提升、腔体与框架结构的动态稳定性优化、热场环境下的结构变形控制等优化设计方案，并结合运行指标对比测试与制程良率数据验证优化效果，为同类制程设备的结构优化提供工程参考。